Основные условные обозначения и сокращения………………………….
ВВЕДЕНИЕ………………………………......................................................
ГЛАВА I. АНАЛИЗ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК
ТЕЛЛУРИДА КАДМИЯ И МЕТОДОВ ИХ ПОЛУЧЕНИЯ …
§1.1. Физико- химические свойства CdTe………………………………….
§1.2. Поведение различных типов дефектов в CdTe………………………
§1.3. Дефекты в CdTe………………………………………………………..
§1.3.1. Собственные дефекты в CdTe……………………………………….
§1.3.2. Примесные дефекты в CdTe………………………………………...
§1.4. Компенсация в CdTe ……………………………………………….....
§1.5. Методы получения пленок……………………………………………
Выводы к первой главе………………………………………………………
Постановка задачи…………………………………………………………...
ГЛАВА II. ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК
CdTe И МЕТОДИК ИХ ИССЛЕДОВАНИЯ ………………….
§2.1. Выращивание пленок CdTe методом химического молекулярнопучкового осаждения (ХМПО)..........................................................
§2.2. Особенности методик комплексных исследований физических
свойств пленок ……………………………………………………….
§2.3. Свойства омических контактов, полученных к тонким пленкам ….
Выводы ко второй главе...……………………………….............................
ГЛАВА III. МОРФОЛОГИЯ, СТРУКТУРА И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ
СВОЙСТВА ПЛЕНОК CdTe РАЗЛИЧНОГО СОСТАВА
§3.1. Особенности морфологии и структуры пленок CdTe в зависимости
от состава паровой фазы в процессе роста………………………….
§3.2. Влияние температуры подложки на морфологию и структуру
пленок CdTe …………………………………………………………..
§3.3. Исследование фотолюминесценции в пленках CdTe различного
состава…………………………………………………………………
§3.4. Влияние состава пленок CdTe на их электропроводность
………….
Выводы к третьей главе...…………….…………….……..…………………
5
8
16
16
19
20
21
23
24
25
40
40
42
42
45
56
61
62
62
66
69
71
73
ГЛАВА IV. ВЛИЯНИЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ В РАСТВОРЕ
CdCl2 НА СВОЙСТВА ПЛЕНОК CdTe……………………..
§4.1. Особенности напыления CdCl2 на поверхность пленок CdTe в
754
вакууме……………………………………………………………….
§4.2. Термообработка образцов……………………………………………..
§4.3. Влияние термической обработки в растворе CdCl2 на морфологию
и структуру пленок CdTe различного состава ……………………..
§4.4. Электропроводность пленок CdTe различного состава до и после
термической обработки в растворе CdCl2…………………………..
§4.5. Фотолюминесценция пленок CdTe до и после термической
обработки в растворе CdCl2………………………………………….
Выводы к четвертой главе ………………………………………………….
ГЛАВА V. ВЛИЯНИЕ ЛЕГИРОВАНИЯ Sb НА СВОЙСТВА ПЛЕНОК
CdTe …………………………………………………………….
§5.1. Получение пленок CdTe различного состава легированных Sb
непосредственно в процессе роста методом ХМПО……………….
§5.2. Особенности легирования Sb пленок теллурида кадмия методом
вакуумного осаждения……………………………………………….
§5.3. Влияние легирования Sb на морфологию и структуру пленок CdTe
различного состава……………………………………………………
§5.4. Изучение изменения удельного сопротивления пленок CdTe: Sb…
Выводы к пятой главе ………………………………………………………
ЗАКЛЮЧЕНИЕ……………………………………………………………...
СПИСОК ОПУБЛИКОВАННЫХ РАБОТ…………………………………
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ…………………………
75
76
77
80
86
87
89
89
92
94
98
100
102
105
108
