Кириш……………………………………………………………….................. 7
I БОБ. Ҳароратни ўлчашдаги муаммоларининг замонавий ҳолати……….
14 §1.1. Ҳозирда кўп тарқалган терморезисторларнинг тавсифлари,
афзалликлари ва камчиликлари …………………………………………....... 14
§1.2. Яримўтказгич материаллар асосида яратилинган терморезисторлар.. 23
§1.3. Яримўтказгич материаллар асосидаги терморезисторларнинг
истиқболли конструкциялари........................................................................... 30
§1.4. Адабиётларнинг таҳлилий хулосалари ва тадқиқот масалаларини
қўйилиши............................................................................................................ 39
II БОБ. Марганец, олтингугурт, никел киришма атомлари билан
легирланган монокристалл кремний асосида терморезисторлар тайёрлаш
технологияси....................................................................................................... 42
§2.1. Терморезисторларни яратишдаги кремний пластиналарининг асосий
параметрлари...................................................................................................... 42
§2.2. Терморезисторларни тайёрлашда механик ишлов бериш
технологияси....................................................................................................... 48
§2.3. Терморезисторлар тайёрлашда кимёвий ишлов бериш
технологиясини яратиш..................................................................................... 45
§2.4. Яримўтказгич материалларида ҳароратга сезгирлик коэффицентини
максимал бўлиш шарти..................................................................................... 51
§2.5. Дастлабки материалнинг оптимал хоссаларини аниқлаш ва сезгир
терморезисторлар яратишда уларни олинишнинг технологик шартлари.... 53
§2.6. Кремнийнинг электрофизик параметрларига марганец, олтингугурт
ва никел киришма атомларининг таъсири...................................................... 55
§2.7. Электрофизик параметрлари бошқариладиган компенсацияланган
кремний олиш технологияси............................................................................ 59
3
§2.8. Компенсацияланган кремний асосидаги терморезисторларга омик
контактларни олиш технологияси.................................................................... 61
§2.09. Терморезисторларни герметизатциялаш.............................................. 67
§2.10. Терморезисторларни ишлаб чиқаришдаги технологик тизим
структураси......................................................................................................... 69
§2.11. Конпенсацияланган кремний асосида терморезисторларни
олишнинг технологик маршрути...................................................................... 72
§2.12. Никел киришма атомларининг кремнийдаги ҳолати........................... 73
Иккинчи бобга хулоса………………………………………………..…….…. 79
III БОБ. Марганец, олтингугурт ва никел атомлари билан легирланган
монокристалл кремний асосида яратилган терморезисторларнинг
параметрлари ва тавсифини ўрганиш............................................................... 80
§3.1. Яратилинган терморезисторларни параметрлари ва тавсифларини
ўрганишдаги усуллар ва қурилмалар............................................................... 80
§3.2. Яратилинган терморезисторларнинг электрофизик параметрлари….. 83
§3.3. Яратилинган терморезисторларни параметрлари ………………….… 86
§3.4. Компенсатцияланган кремний асосидаги терморезисторларни
ишлатиш сохасини киришма атомлариги боғлиқлиги................................... 92
IV БОБ. Марганец, олтингугурт ва никел атомлари билан легирланган
монокристалл кремний асосидаги терморезисторларнинг электрофизик
параметрларини ташқи таъсирларга барқарорлиги амалиётга қўлланиш
соҳалари.....................…………………............................................................. 98
§4.1.Яратилган терморезисторларнинг параметрларига ҳароратни таъсири. 99
§4.2. Компенсацияланган кремний асосидаги терморезисторларнинг
электрофизик параметрларига γ-нурланишни таъсири.................................. 100
§4.3.Компенсацияланган кремний асосида яратилинган терморезисторли
ўзгартиргичлар................................................................................................... 110
§4.4. Термометрни электрон қисмини яратиш................................................ 116
4
Хулоса……………………………………………………………………..…... 123
Эълон қилинган ишлар рўйхати…………………………...…………..…….. 125
Фойдаланилган адабиётлар рўйхати…………………...…………………..... 127
