ВВЕДЕНИЕ.............................................................................................................. 7
ГЛАВА 1. АНАЛИЗ ОПТИЧЕСКИХ И ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ
ПОЛУПРОВОДНИКОВ С НАНОКЛАСТЕРАМИ ........................................... 14
§1.1. Анализ объектов, в которых электроны испытывают квантовые
ограничения ........................................................................................................ 14
§1.2. Фотоэлектрические свойства полупроводников с квантовыми
точками .............................................................................................................. 17
§1.3. Оптические свойства полупроводниковых материалов с
нанокластерами................................................................................................. 23
Постановка задачи............................................................................................ 26
ГЛАВА 2. ДИФФУЗИОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ
МНОГОЗАРЯДНЫХ НАНОКЛАСТЕРОВ В КРЕМНИИ И МЕТОДЫ ЕЁ
ИССЛЕДОВАНИЯ................................................................................................ 27
§2.1. Преимущества низкотемпературной технологии диффузионного
легирования кремния.......................................................................................... 28
§2.2. Параметры технологического процесса диффузии атомов марганца в
кремнии ............................................................................................................... 31
§2.3. Методы исследования структуры и зарядового состояния кластеров
атомов марганца ............................................................................................... 34
Выводы ко второй главе ................................................................................... 37
ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ПЕРЕНОСА ЗАРЯДА В КРЕМНИИ С
НАНОКЛАСТЕРАМИ АТОМОВ МАРГАНЦА................................................ 40
§3.1. Исследование температурной зависимости сопротивления образцов
кремния с нанокластерами марганца.............................................................. 41
§3.2. Исследование подвижности носителей в кремнии с нанокластерами
марганца ............................................................................................................. 42
§3.3. Исследование влияния освещенности и электрического поля на
подвижность дырок в кремнии с нанокластерами марганца ...................... 48
§3.4. Изучение особенностей ВАХ кремния с многозарядными
нанокластерами марганца................................................................................ 52
Выводы к третьей главе................................................................................... 564
ГЛАВА 4. НОВЫЕ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ В КРЕМНИИ С
МНОГОЗАРЯДНЫМИ НАНОКЛАСТЕРАМИ МАРГАНЦА ......................... 57
§4.1. Спектральная зависимость фотопроводимости кремния с
нанокластерами марганца................................................................................ 58
§4.2. Эффект очувствления в кремнии с нанокластерами марганца......... 62
§4.3. Аномальное ИК и температурное гашение фотопроводимости в
кремнии с нанокластерами марганца.............................................................. 66
§4.4. Динамика фотопроводимости кремния с нанокластерами атомов
марганца.............................................................................................................. 79
§4.5. Время жизни носителей заряда в кремнии с нанокластерами
марганца.............................................................................................................. 88
§4.6. Физическая модель зонной структуры кремния с многозарядными
нанокластерами марганца............................................................................... 96
Выводы к четвертой главе ............................................................................. 105
ГЛАВА 5. РАЗРАБОТКА ПРИБОРОВ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ С
МНОГОЗАРЯДНЫМИ НАНОКЛАСТЕРАМИ............................................... 107
§5.1. Влияние собственного освещения на фотопроводимость кремния с
нанокластерами марганца............................................................................. 108
§5.2. Оценка возможности создания фотоприѐмников на основе кремния с
нанокластерами атомов марганца................................................................ 114
§5.3. Разработка счетчиков фотонов на основе кремния с многозарядными
нанокластерами марганца............................................................................. 119
Выводы к пятой главе...................................................................................... 122
ЗАКЛЮЧЕНИЕ ................................................................................................... 123
СПИСОК ОПУБЛИКОВАННЫХ РАБОТ........................................................ 124
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ ........................................... 128
ПРИЛОЖЕНИЕ 1 ................................................................................................ 139
ПРИЛОЖЕНИЕ 2 ................................................................................................ 140
