Введение………………………………………………………………….….........6
ГЛАВА 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ ИЗУЧЕНИЯ
КЛАСТЕРОВ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ В КРЕМНИИ
§1.1. Кластеры примесных атомов в полупроводниках…..…………..………15
§1.2. Радиационные и термические дефекты в кремнии………………….......20
§1.3. Взаимодействие примесных атомов с радиационными и термическими
дефектами в полупроводниках……………………………………….…...…..29
§1.4. Межпримесное взаимодействие элементов переходной группы в
кремнии………………………………………………………………………..…33
Постановка диссертационных задач..…………………………………………37
ГЛАВА 2. ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ ОБРАЗЦОВ С КЛАСТЕРАМИ
ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ И МЕТОДЫ ИХ ИССЛЕДОВАНИЯ
§2.1. Термодинамические и технологические условия взаимодействия
кластеров никеля в кремнии ….…………...………………………………….39
§2.2. Методы исследования состояния примесных кластеров и их влияния
на свойства образцов……………………………………………………………42
§2.3. Влияние типа и концентрации исходных примесей на свойства кластеров
никеля………………………………………………...………………44
§2.4. Влияние условий легирования на свойства кластеров атомов
никеля…………………………………………………….………………………49
Выводы…………………………………………………………………………...56
ГЛАВА 3. ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ КЛАСТЕРОВ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ
НИКЕЛЯ И МАРГАНЦА С ДЕФЕКТАМИ РЕШЕТКИ КРЕМНИЯ
§3.1. Взаимодействие кластеров атомов никеля с радиационными дефектами в
кремнии………………………………………………………………………...58
§3.2. Электрофизические свойства кремния с кластерами атомов никеля при -
облучении………………………………………….…………………….……63
§3.3. Влияние -облучения на состояние кластеров атомов марганца в
кремнии……………………………………………………..................................685
§3.4. Влияние низкотемпературного отжига на свойства образцов с
кластерами……………………………………………………………………… 83
Выводы ………………………………………………………………….…….....87
ГЛАВА 4. ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ КЛАСТЕРОВ АТОМОВ МАРГАНЦА С
ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ
§4.1. Исследование взаимодействия кластеров атомов марганца с атомами
серы…………………………….………………………………..……………...89
§4.2. Влияние температуры диффузии на взаимодействие кластеров атомов
марганца с атомами серы…………………………...…………………………..97
§4.3. Взаимодействие кластеров атомов марганца с атомами селена и теллура в
кремнии………………………………………………………………………..99
Выводы ……..………………………………………………………………......113
ЗАКЛЮЧЕНИЕ……………...……………………………...………………….114
СПИСОК ОПУБЛИКОВАННЫХ РАБОТ……………………………..…….115
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫЙ ЛИТЕРАТУРЫ…………………………..119
