| СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ И УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ………….. | 5 | |
| ВВЕДЕНИЕ………………………………………………………………..… | 6 | |
| ГЛАВА I. О СВОЙСТВАХ КРЕМНИЯ, ЛЕГИРОВАННОГО ПРИМЕСЯМИ С ГЛУБОКИМИ УРОВНЯМИ.....…………. | 15 | |
| §1.1. | Диффузия легирующих примесей ………….…………….………... | 15 |
| §1.2. | Роль дефектов, существующих в кристалле до диффузии ……..... | 25 |
| §1.3. | Быстродиффундирующие примеси и влияние повторных операций диффузии и окисления…….….....................................… | 28 |
| §1.4. | Технологические примеси в кремнии и дефекты, обусловленные кислородом и углеродом…………………………………………… | 43 |
| Постановка задачи…………………...…………………………….. | 52 | |
| ГЛАВА II. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ | 54 | |
| §2.1. | Емкостная спектроскопия глубоких уровней в кремнии ................. | 54 |
| §2.2. | Методика измерения спектров DLTS ………………..…………….. | 61 |
| §2.3. | Теоретические основы метода фотоемкости………………………. | 62 |
| §2.4. | Методика измерения спектров ИК – поглощения…………………. | 70 |
| §2.5. | Технология очистки образцов, проведения термических обработок и изготовления диодных структур…………………….... | 73 |
| Выводы к главе 2…………………...………………………………... | 74 | |
| ГЛАВА III. ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЕ В КРЕМНИИ С ПРИМЕСЯМИ ПЛАТИНЫ, КОБАЛЬТА И ХРОМА ………….…….………. | 75 | |
| §3.1. | Энергетический спектр глубоких дефектных центров в кремнии, легированном платиной……………………………………………... | 75 |
| §3.2. | Особенности образования глубоких центров хрома, никеля и кобальта в кремнии………….…………………………….………… | 81 |
| §3.3. | Исследование процессов формирования и развития дефектной | 90 |
4
| структуры кремния с примесями платины, хрома и кобальта……. | ||
| §3.4. | Межпримесное взаимодействие в Si, легированном примесями Pt, Co и Cr ……………………………………………………………. | 94 |
| Выводы к главе 3...……………...……………..…………………….. | 98 | |
| ГЛАВА IV. РОЛЬ ВНЕШНИХ ФАКТОРОВ НА ПРОЦЕССЫ ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ В КРЕМНИИ ПРИМЕСЯМИ ПЛАТИНЫ, КОБАЛЬТА И ХРОМА…………….……… | 99 | |
| §4.1. | Кинетика низкотемпературного отжига уровней платины в кремниевых структурах……………………………………………... | 99 |
| §4.2. | Влияние предварительных термообработок на свойства глубоких центров кобальта и хрома в кремнии ………………...……………. | 101 |
| §4.3. | Исследование воздействия радиации на поведение уровней Pt, Сo, Cr в кремнии…………………………………………….……….. | 106 |
| §4.4. | Взаимодействие примесей платины, хрома и кобальта в кремнии с технологическими примесями и их ассоциированными состояниями……………………………………..…………………… | 111 |
| Выводы к главе 4……………...……………..………………………. | 115 | |
| ЗАКЛЮЧЕНИЕ………………………………………………………….…... | 117 | |
| СПИСОК ПУБЛИКАЦИЙ ПО ДИССЕРТАЦИИ……………………….... | 119 | |
| ЛИТЕРАТУРА……………………………………………………………..... | 123 | |
| ПРИЛОЖЕНИЯ | 135 | |
| Приложение 1. Справка об использовании результатов диссертации, выданная Министерством высшего и среднего специального образования Республики Узбекистан ……………………………………... | 135 | |
| Приложение 2. Заключение по диссертационной работе1-го Заместителя Председателя Правления АК «Узэлтехсаноат» ……………. | 136 |
