Основные условные обозначения и сокращения……………………….. 5
ВВЕДЕНИЕ 6
ГЛАВА I. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ ОСНОВ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ НА ОСНОВЕ
ТЕЛЛУРИДА КАДМИЯ И ТЕНДЕНЦИИ ИХ РАЗВИТИЯ
14
§ 1.1. Разновидности технологии получения полупроводниковых
детекторов 14
§1.2. Полупроводниковые детекторы с потенциальными барьерами на
основе объёмного теллурида кадмия
24
§ 1.3. Особенности дефектной структуры полупроводникового
материала теллурида кадмия 36
Постановка задачи исследования 38
ГЛАВА II. ПОЛУЧЕНИЕ КРУПНОБЛОЧНЫХ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ТЕЛЛУРИДА КАДМИЯ СО СТОЛБЧАТОЙ СТРУКТУРОЙ ЗЕРЕН И ИХ СВОЙСТВА 42
§2.1. Получение поликристаллических пленок CdTe методом конденсации из паровой фазы в потоке водорода 44
§2.2. Кинетика роста поликристаллических пленок CdTe при конденсации из паровой фазы в потоке водорода 49
§2.3. Морфология пленок CdTe, полученных методом конденсации из
паровой фазы в потоке водорода 52
§2.4. Создание структур c барьером Шоттки, на основе поликристаллических пленок р-CdTe 55
§2.5. Состав Al – р-CdTe – Mo-структуры в полном представлении 58
§2.6. Рентгенофазные исследования Al – p-CdTe – Mo-структуры и ее
реальное строение 61
§2.7. Реальный состав Al – рCdTe – Mo-структуры и представление ее
в виде n – p – n-транзистора 64
Выводы к главе 2 67
ГЛАВА III. ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СТРУКТУРЫ Al – рCdTe – Mo. 68
§3.1.Вольтамперные характеристики Al – pCdTe – Mo-структуры 694
§3.2.Обратная ветвь ВАХ Al – pCdTe – Mo-структуры 71
§3.3.Температурная зависимость обратной ветви ВАХ Al – pCdTe –
Mo-структуры 74
§3.4. Температурные зависимости сублинейного участка и области
резкого роста тока обратной ветви ВАХ Al – pCdTe – Moструктуры
77
§3.5. Температурная зависимость прямой ветви ВАХ Al-nAl2O3-
pCdTe-nMoO3-Mo – структуры 85
§3.6. Вольт-фарадная характеристика Al-nAl2O3-pCdTe-nMoO3-Mo -
структуры
89
§3.7. Зонная энергетическая диаграмма Al – nAl2O3 – pCdTe – nMoO3 –
Mo- структуры 92
§3.8. Механизмы токопрохождения в обратно смещенной Al – nAl2O3 –
pCdTe – nMoO3 – Mo -структуре 99
Выводы к главе 3 103
ГЛАВА IV. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ДЕТЕКТОРНОЙ
СТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ Al-nAl2O3-pCdTe-nMoO3-Mo 105
§4.1. Энергетическая разрешающая способность детекторной
Al-nAl2O3-pCdTe-nMoO3-Mo -структуры 105
§ 4.2. Амплитудные характеристики детекторной Al-nAl2O3-pCdTenMoO3-Mo – структуры
108
§ 4.3. Шумовые характеристики детекторной Al-nAl2O3-pCdTe-nMoO3-
Mo – структуры 110
Выводы к главе 4 114
ЗАКЛЮЧЕНИЕ 115
СПИСОК ОПУБЛИКОВАННЫХ РАБОТ 117
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ 119
ПРИЛОЖЕНИЕ I 124
ПРИЛОЖЕНИЕ II 125
