Основные условные обозначения и сокращения…………………………...
5
ВВЕДЕНИЕ……………………………………………………………………
7
ГЛАВА 1. СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПОЛУПРОВОД-НИКОВЫХ КООРДИНАТНО-ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ДЕТЕК-ТОРОВ ЯДЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ...............................................
13
§1.1. Разные виды полупроводниковых координатно-чувствительных детекторов и их назначение ……….…………………………………
16
§1.2. Основные характеристики кремния и принципы работы полу- проводниковых координатно-чувствительных детекторов на основе Si структур...……………………………………………………
27
§1.3. Сравнение электрофизические характеристик разных типов крем- ниевых детекторов ядерного излучения с большой поверхностью чувствительной области…………………...………….……….………
33
Выводы к первой главе……………………………………………………….
Постановка задач………………………………………….…………………..
39
ГЛАВА 2. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКО- ВЫХ КООРДИНАТНО-ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ДЕТЕКТОРОВ ЯДЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ БОЛЬШИХ РАЗМЕРОВ…………..
40
§2.1. Технологический маршрут для изготовления полупроводниковых координатно-чувствительных Si(Li)-детекторов больших размеров...
41
§2.2. Механическая и химическая обработка полупроводниковых кремниевых пластин …………………………………...……………….
44
§2.3. Процессы диффузии ионов лития в кремнии…………………………
51
§2.4. Процессы дрейфа лития в кремниевых подложках больших размеров…...…………….………………………………………………
58
§2.5. Процессы металлического напыления на готовые кремниевые структуры.………………………………………………………….……
67
§2.6. Полупроводниковые координатно-чувствительные детекторы на основе Si(Li) p-i-n структуры большой площади с термоохлаждаю- щим устройством…………………..…………………………………...
73
Выводы ко второй главе ..…………………………..………………….…….
77
ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ И СПЕКТРО- МЕТРИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК КООРДИНАТНО- ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ДЕТЕКТОРОВ БОЛЬШИХ РАЗ- МЕРОВ……………………………………………………………
78
4
§3.1. Электрофизические характеристики Si(Li) координатно-чустви- тельных детекторов…...….…………………………………………….
78
§3.1.1. Токовые и емкостные характеристики координатно-чувствитель- ных детекторов………………………………………………………..
81
§3.1.2. Измерение вольтшумовых характеристик координатно-чувстви- тельных детекторов…………………………………………………...
85
§3.2. Измерение спектрометрических характеристик Si(Li) координатно-
чувствительных детекторов……………………………………………
87
§3.3. Макетные стенды для испытания координатно-чувствительного детектора …………………………………………………….…………
91
Выводы к третьей главе
98
ГЛАВА 4. ОСОБЕННОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КООРДИ- НАТНО-ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ДЕТЕКТОРОВ ЯДЕРНОГО ИЗЛУЧЕ-НИЯ НА ОСНОВЕ ГЕТЕРОПЕРЕХОДНЫХ СТРУКТУР Al-аGe-pSi-Au………………………………….…
99
§4.1. Характеристические параметры модифицированных материалов и гетерокомпозиций на основе кремния и германия…………………...
100
§4.2. Технологические аспекты изготовления гетеропереходных струк- тур Al-аGe-pSi-Au для координатно-чувствительного детектора…..
102
§4.3. Электрофизические и спектрометрические характеристики полу- проводниковых координатно-чувствительных детекторов ядерного излучения на основе гетеропереходных структур Al-аGe-pSi-Au..…
108
Выводы к четвертой главе……..……..………………………………………
111
ЗАКЛЮЧЕНИЕ……………………………………………………………….
112
СПИСОК ОПУБЛИКОВАННЫХ РАБОТ………………………………….
114
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ………………………….
116
Приложение 1, 2, 3………………………………………………..…………..
122
