СПИСОК ОСНОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ 4
ВВЕДЕНИЕ 7
ГЛАВА 1. АНАЛИТИЧЕСКИЙ ОБЗОР
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ И ТЕОРЕТИЧЕСКИХ
ИССЛЕДОВАНИЙ ПРОЦЕССА ОБРАЗОВАНИЯ
ТОНКИХ ПЛЕНОК 17
1.1. Обзор экспериментальных данных по диффузии в твердых
телах 17
1.2. Полуэмпирическое уравнение диффузии 24
1.3. Корректная постановка задач и методы их решения 30
Выводы по первой главе 37
ГЛАВА 2. МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ
ДИФФУЗИОННОГО РОСТА ТОНКИХ ПЛЕНОК НА
ПОДЛОЖКАХ 38
2.1. Построение математической модели диффузионного роста
тонкой пленки на подложке 39
2.2. Разрешимость математической модели диффузии в процессе
роста тонкой пленки 49
2.3. Математическая модель диффузии вещества в различных
соприкасающихся средах 52
2.4. Численные расчеты по предложенным моделям 56
Выводы по второй главе 68
3
ГЛАВА 3. ЭКОНОМИКО-МАТЕМАТИЧЕСКОЕ
МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОИЗВОДСТВА ТОНКИХ
ПЛЕНОК
69
3.1. Экономико-математическая модель объемов производства
тонких пленок
70
3.2. Экономико-математическая модель объемов производства
тонких пленок с учетом затрат на их производство
79
Выводы по третьей главе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
Приложение 1
Приложение 2
Приложение 3
Приложение 4
85
86
88
104
105
106
118
