СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ И УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ………….. 5
ВВЕДЕНИЕ………………………………………………………………..… 7
ГЛАВА I. ОСОБЕННОСТИ ПРОЦЕССОВ ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ В КРЕМНИИ И КРЕМНИЕВЫХ МДП-СТРУКТУР……….. 15
§1.1. Механизмы дефектообразования в монокристаллическом,
кремнии ………………………...…………………………….…….. 15
§1.2. Электрические свойства дефектов в кремнии……........................... 23
§1.3. Характеристика окислительных процессов и механизмы
дефектообразования в процессе окисления кремния …….…...… 25
§1.4. Основные закономерности емкостной спектроскопии глубоких
уровней в полупроводниках ………………………………………… 31
§1.5. Технология легирования кремния тугоплавкими и редкоземельными элементами……………………………………………………... 40
Постановка задачи……………………...…………………………….. 46
ГЛАВА II. ЭФФЕКТЫ ВЛИЯНИЯ ПРИМЕСЕЙ ПОДГРУППЫ
ТИТАНА И НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КРЕМНИЯ 47
§2.1. Образование дефектных центров в кремнии, легированном
Титаном………………………………………………………………... 47
§2.2. Дефектообразование в кремнии, легированном гафнием………….. 58
§2.3. Образование дефектных центров в кремнии, легированном
цирконием….…...…………………………………………………… 63
§2.4. Изучение взаимодействия атомов тугоплавких элементов с
другими примесями в кремнии……………………………………… 66
§2.5. Влияние примесей тугоплавких элементов на фоточувствитель
ность кремниевых фотопреобразователей………………………….. 70
§2.6. ИК-спектроскопия кремния, легированного лантаном и никелем... 76
Выводы к главе 2……………………………………………………... 84
ГЛАВА III. ИССЛЕДОВАНИЕ ЭФФЕКТОВ ВЛИЯНИЯ ПРИМЕСЕЙ
ПОДГРУППЫ ТИТАНА НА ПАРАМЕТРЫ МДП-СТРУКТУР…………4
§3.1. Влияние титана на свойства объема и границы раздела Si-SiO2
кремниевых МДП-структур……………………………………..…… 85
§3.2. Емкостная спектроскопия дефектов в кремниевых МДП–структурах
с примесью гафния……………………………………… 91
§3.3. Неравновесные процессы при легировании кремниевой подложки
МДП-структур цирконием…………………………………………... 96
§3.4. Влияние примесей редкоземельных элементов на параметры
МДП-структур………………………………………………………... 99
Выводы к главе 3……………………………………………………... 103
ГЛАВА IV. ЭФФЕКТЫ ВЛИЯНИЯ ПРИМЕСЕЙ ПОДГРУППЫ
ТИТАНА НА ПРОЦЕССЫ ТЕРМИЧЕСКОГО И РАДИАЦИОННОГО
ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ В КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУРАХ………....
104
§4.1. Кинетика низкотемпературного отжига уровней циркония в
кремниевых структурах………………………………………………. 104
§4.2. Влияние термообработки на свойства кремния с примесью
гафния………………………………………………………………… 110
§4.3. Исследование влияния -облучения на на свойства уровней
циркония в кремния………………………………………………….. 113
§4.4. Радиационные дефекты в многослойных структурах…………….. 118
Выводы к главе 4……………...………………..…………………….. 120
ЗАКЛЮЧЕНИЕ………………………………………………………….…... 121
СПИСОК ПУБЛИКАЦИЙ ПО ДИССЕРТАЦИИ……………………….... 123
ЛИТЕРАТУРА……………………………………………………………..... 127
ПРИЛОЖЕНИЯ
Приложение 1. Методика измерения спектров фотоемкости…………..... 139
Приложение 2. Заключение по диссертационной работе 1-го
Заместителя Председателя Правления АК «Узэлтехсаноат»..................... 147
Приложение 3. Справка об использовании результатов диссертации,
выданная Агентством по науке и технологиям…….................................... 148
