| ШАРТЛИ БЕЛГИЛАР ВА ҚИСҚАРТМАЛАР............................. | 5 | |
| КИРИШ................................................................................................. | 8 | |
| I БОБ. КРЕМНИЙ АСОСИДАГИ КЎПҚАТЛАМЛИ ЯРИМЎТКАЗГИЧЛИ ГЕТЕРОТУЗИЛМАЛАРНИ ТАДҚИҚОТЛАР ҲОЛАТИ ВА КЕЛАЖАК ИСТИҚБОЛЛАРИ………………………………………………….. | 20 | |
| 1.1-§. | Кремний асосидаги МДЯ-тузилмаларини физик хусусиятларини тадқиқотлари ҳолати............................................................................. | 20 |
| 1.2-§. | Кремний асосидаги кўпқатламли яримўтказгичли гетеротузилмаларнинг тузилиши ва физик ҳоссаларини ўрганиш ҳолати..................................................................................................... | 29 |
| 1.3-§. | Металл оксидли юпқа қатламлар: тадқиқот ҳолати ва истиқболлари......................................................................................... | 39 |
| 1-бобга оид хулосалар........................................................................... | 46 | |
| II БОБ ЛЕГИРЛАНГАН КРЕМНИЙ АСОСИДА ЯРИМЎТКАЗГИЧЛИ КЎП ҚАТЛАМЛИ ТУЗИЛМАЛАРНИ ОЛИШ ТЕХНОЛОГИЯСИ ВА УЛАРНИ ТАДҚИҚ ҚИЛИШ УСУЛЛАРИ.......................................................................................... | 47 | |
| 1-§. | Керакли хоссаларга эга бўлган легирланган кремний олиш технологияси ва унинг физика - кимёвий хоссаларини тадқиқ қилиш усуллари..................................................................................... | 47 |
| 2.2-§. | Яратилиши технологик шароитларига боғлиқ бўлган Si асосидаги турли диэлектрикли МДЯ-тузилмаларни олиш ва уларни асосий қийматларини ўрганиш..................................................................... | 53 |
| 2.3-§. | Яримўтказгичлар сиртига металлоксидли юпқа пардаларни чўктириш усуллари............................................................................... | 62 |
| 2.4-§. | Суюқ фазали эпитакция усули ёрдамида Si асосида кўп қатламли кўп компонентали қаттиқ эритмаларни олиш усуллари................. | 67 |
| 2.5-§. | Тадқиқотнинг бошқа усуллари............................................................. | 73 |
| 2– бобга оид хулосалар.......................................................................... | 76 | |
| III БОБ. ЛЕГИРЛАНГПН КРЕМНИЙ АСОСИДАГИ МДЯ ТУЗИЛМАЛАРНИНГ ФИЗИК ХОССАЛАРИ ВА УЛАРГА ТАШҚИ ОМИЛЛАРНИНГ ТАЪСИРЛАРИ.................................. | 78 | |
| 3.1-§. | МДЯ xусусиятларига Rh ва Ir киришмаларини таъсири.................... | 82 |
| 3.2-§. | МДЯ xусусиятларига иссиқлик билан ишлов беришни | 79 |
4
| таъсирлари. | ||
| 3.3-§. | МДЯ-тузилмаларга нейтрон нурларининг таъсирлари...................... | 86 |
| 3.4-§. | Тезлаштирилган электронларни Si – SiO2 бўлиниш чегарасига таъсирлари............................................................................................. | 89 |
| 3.5-§. | Гамма нурланишларини МДЯ-тузилмалар xусусиятларига таъсирлари............................................................................................. | 95 |
| 3-бобга оид хулосалар........................................................................... | 110 | |
| IV БОБ. КРЕМНИЙ АСОСИДАГИ КЎПҚАТЛАМЛИ ЯРИМЎТКАЗГИЧЛИ ГЕТЕРОТУЗИЛМАЛАРНИНГ ТУЗИЛМАВИЙ ХУСУСИЯТЛАРИ ВА ФИЗИК ХОССАЛАРИНИ ТАДҚИҚ ҚИЛИШ............................................. | 112 | |
| 4.1-§. | Икки атомли С24 молекуласи, A3B5 и A2B6 бирикмалари асосида ўзаро ўрин алмашинувчи қаттиқ қоришмаларнинг ҳосил бўлиш шартлари................................................................................................ | 112 |
| 4.2-§. | Кўпқатламли яримўтказгичли n-Si-р-(SiGe)1-x-y(GaAs)x(ZnSe)y гетеротузилмасининг рентгенотузилмавий тадқиқоти...................... | 118 |
| 2.3-§. | n-Si-р-(SiGe)1-x-y(GaAs)x(ZnSe)y гетеротузилмасининг морфологик тадқиқотлари.......................................................................................... | 125 |
| 2.4-§. | Кўпқатламли n-Si-р-(SiGe)1-x-y(GaAs)x(ZnSe)y гетеротузилмасида ток ўтишининг ўзига хос хусусиятлари............................................... | 129 |
| 4.5-§. | n-GaAs–р-(SiGe)1-x-y(GaAs)x(ZnSe)y гетеротузилмасининг спектрал фотосезгирлиги...................................................................................... | 139 |
| 4-бобга оид хулосалар........................................................................... | 142 | |
| V БОБ. МЕТАЛЛОКСИДЛИ ЮПҚА ҚАТЛАМЛАРНИНГ ТУЗИЛМАВИЙ ХУСУСИЯТЛАРИ ВА ФИЗИК ХОССАЛАРИ....................................................................................... | 144 | |
| 5.1-§. | Кремний асосида олинган металлоксид юпқа қатламининг тузилмавий хусусиятлари..................................................................... | 144 |
| 5.2-§. | n-ZnO/p-Si гетеротузилмасининг морфологик ва фотоэлектрик хоссалари................................................................................................ | 148 |
| 5.3-§. | Металлоксид(ZnO/SnO2)-кремний гетеротузилмаларининг фотоэлектрик хоссалари....................................................................... | 152 |
| 5.4-§. | Калай икки оксиди юпқа қатламларининг газсезгир хоссалари........ | 158 |
| 5.5-§. | Калай икки оксиди асосида датчикнинг сезгирлигини ошириш....... | 162 |
| 5.6-§. | Қалай икки оксиди асосида газсезувчан сенсорнинг вольтампер характеристикаси.................................................................................. | 167 |
5
| 5-бобга оид хулосалар........................................................................... | 172 |
| ХУЛОСА............................................................................................... | 175 |
| ЭЪЛОН ҚИЛИНГАН ИШЛАР РЎЙХАТИ................................... | 178 |
| ФОЙДАЛАНИЛГАН АДАБИЁТЛАР РЎЙҲАТИ........................ | 183 |
