БЕЛГИЛАР, БИРЛИКЛАР, РАМЗЛАР ВА АТАМАЛАР РЎЙХАТИ .... 4
Кириш ............................................................................................................. 5
I БОБ. ҲОЗИРГИ ДАВР ФОТОЭНЕРГЕТИКАСИ МУАММОЛАРИ ..... 14
§1.1. Қуёш энергияси ва уни республикадаги энергия салоҳияти ... 14
§1.2. Фотоэлементлар ва уларнинг асосий параметрлари .............. 21
§1.3. Фотоэлементларнинг ишлаб чиқариш технологияси .............. 27
§1.4. Фотоэлементларнинг фойдали иш коэффициентига таъсир
қилувчи омиллар .......................................................................... 30
II БОБ. A
IIIB
V ВА A
IIB
VI СТРУКТУРАЛИ БИНАР ЭЛЕМЕНТАР
ЯЧЕЙКАЛИ КРЕМНИЙ НАМУНАЛАРИНИ ОЛИШ
ТЕХНОЛОГИЯСИ ВА УЛАРНИ ТАДҚИҚ ҚИЛИШ УСУЛЛАРИ ........ 37
§2.1. A
IIIB
V
ва AIIB
VI ярим ўтказгич боғланишлар параметрлари .....
37
§2.2. III, V ва II, VI гуруҳ элементларини диффузия параметрлари 45
§2.3. Кремний монокристаллини III ва V, II ва VI гуруҳ
элементлари билан кетма-кет ва бир вақтда легирлаш
технологияси ................................................................................ 48
§2.4. A
IIIB
V ва AIIB
VI структурали намуналарни тадқиқ қилиш
усули ............................................................................................... 59
Иккинчи бобдан хулоса .......................................................................... 65
III БОБ. КРЕМНИЙ ПАНЖАРАСИДА A
IIIB
V ВА A
IIB
VI
СТРУКТУРАЛИ БИНАР ЭЛЕМЕНТАР ЯЧЕЙКАЛАРНИ ҲОСИЛ
ҚИЛИШНИНГ ФИЗИК АСОСЛАРИ 67
§3.1. Кремний панжарасида AIIIB
V ва AIIB
VI структурали бинар
элементар ячейкаларни шакллантиришнинг ҳарорат
динамикаси шартлари ................................................................. 67
§3.2. Кремний панжарасида кўп миқдорда AIIIB
V ва AIIB
VI
структурали бинар элементар ячейкалар шакллатирадиган
III, V ва II, VI гуруҳ элементлари жуфтлиги аниқлаш ............. 823
§3.3. A
IIIB
V
ва A
IIB
VI
структурали бинар элементар ячейкалар эга
кремний материалининг соҳа структураси ..............................
85
§3.4. A
IIIB
V
ва A
IIB
VI
структурали бинар элементар ячейкалар эга
кремний материалининг функционал параметрларини
ўзгариши ........................................................................................ 90
Учинчи бобдан хулоса ............................................................................ 93
IV БОБ. AIIIB
V ВА AIIB
VI СТРУКТУРА ЭГА БИНАР ЭЛЕМЕНТАР
ЯЧЕЙКАЛИ КРЕМНИЙ МАТЕРИАЛИ АСОСИДА
ФОТОЭЛЕМЕНТЛАР ИШЛАБ ЧИҚИШ ВА ТАДҚИҚ ҚИЛИШ ........... 91
§4.1. Бинар элементар ячейкали кремний материали асосида
интеграл фотоэлементлар ишлаб чиқиш технологияси ......... 91
§4.2. Бинар элементар ячейкаларни шакллантиришда қулай
легирлаш шартлари ва қўшимча ҳарорат ишловини аниқлаш 98
§4.3. A
IIIB
V ва AIIB
VI структурага эга бинар элементар ячейкали
кремний асосида тайёрланган фотоэлементларни ёруғлик
сезгирлиги соҳасини кенгайтириш қонуниятларини ўрганиш 102
§4.4. A
IIIB
V ва AIIB
VI структурага эга бинар элементар ячейкали
кремний асосида тайёрланган фотоэлементларни
параметрларини тадқиқ қилиш .................................................. 105
Тўртинчи бобдан хулоса ......................................................................... 120
ХУЛОСА ........................................................................................................ 121
ЭЪЛОН ҚИЛИНГАН ИШЛАР РЎЙХАТИ ................................................ 123
Фойдаланган адабиётлар рўйхати ................................................................ 130
Илова .............................................................................................................. 142
