| КИРИШ……………………………………………………………………… | 4 |
| 1- боб. КРЕМНИЙДА ЛЕГИРЛОВЧИ КИРИШМА АТОМЛАР ДИФФУЗИЯСИ ВА АСОСИЙ ДИФФУЗИЯ ПАРАМЕТРЛАРИ ………. | 16 |
| 1.1-§. Кремнийда атомлар диффузияси ва унинг асосий механизмлари .. | 16 |
| 1.2-§. Кремнийда атомлар диффузиясининг асосий параметрлари ва уларни аниқлаш усуллари .…………………………………………………. | 25 |
| 1-боб бўйича ҳулосалар ............................................................................... | 42 |
| 2- боб. ЭНГ КИЧИК КВАДРАТЛАР УСУЛИ ЁРДАМИДА КРЕМНИЙДА АТОМЛАРНИНГ ДИФФУЗИЯ ПАРАМЕТРЛАРИНИ АНИҚЛАШ …….............................................................................................. | 44 |
| 2.1-§. Энг кичик квадратлар усули ва ундан эксперимент натижаларини таҳлил этишда фойдаланиш …………………............................................... | 44 |
| 2.2-§. Кремнийда атомлар диффузияси жараёнини ўрганишга мўлжалланган энг кичик квадратлар тадқиқот услуби ............................... | 48 |
| 2-боб бўйича ҳулосалар ................................................................................. | 53 |
| 3- боб. КРЕМНИЙДА ТУРЛИ ГУРУҲ АТОМЛАРИНИНГ ДИФФУЗИЯ ПАРАМЕТРЛАРИНИ АНИҚЛАШ ……….................................................. | 55 |
| 3.1-§. Кремнийда 3d гуруҳ атомлари диффузияси ……………………… | 55 |
| 3.2-§. Кремнийда 3d ўтиш элементлари атомларининг диффузия механизми ........................................................................................................ | 62 |
| 3.3-§. Кремнийда I, III ва V гуруҳ атомларининг диффузияси ………....... | 67 |
| 3.4-§. Кремнийда IV гуруҳ атомларининг диффузияси .............................. | 75 |
| 3.5-§. Кремнийда I, III-V гуруҳ атомларининг диффузияси механизмлари .................................................................................................. | 82 |
| 3-боб бўйича ҳулосалар ................................................................................. | 87 |
3
| 4- боб. ПОЛИКРИСТАЛЛ КРЕМНИЙДА АТОМЛАР ДИФФУЗИЯ СИНИНГ ЎЗИГА ХОСЛИГИ ..……………………………………………. | 89 |
| 4.1-§. Поликристалл кремнийда атомлар диффузиясининг ўзига хослиги | 89 |
| 4.2-§. Заряд ташувчилар ҳаракатчанлигининг диффузия таъсирида ўзгариши …………………………………………………………………… | 91 |
| 4.3-§. Поликристалл кремнийда тезкор иссиқлик узатилишининг табиати ........................................................................................................ | 95 |
| 4-боб бўйича ҳулосалар .................................................................................. | 100 |
| ҲУЛОСА ……………………………………………………………………. | 101 |
| МУАЛЛИФНИНГ ЧОП ЭТИЛГАН ИЛМИЙ ИШЛАРИ ........................... | 103 |
| ФОЙДАЛАНИЛГАН АДАБИЁТЛАР РЎЙҲАТИ ..……………………… | 106 |
