СОКРАЩЕНИЯ СЛОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ В ТЕКСТЕ
ДИССЕРТАЦИИ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
ВВЕДЕНИЕ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
ГЛАВА I. КРАТКИЙ ОБЗОР ИССЛЕДОВАНИЙ ЭМИССИИ
КЛАСТЕРОВ ПРИ ИОННОМ РАСПЫЛЕНИИ И ПРОЦЕССОВ ИХ
ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ С ПОВЕРХНОСТЬЮ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
§1.1. Основные закономерности эмиссии кластеров при распылении
поверхности твѐрдых тел пучками атомарных ионов. . . . . . . . . . . 21
§1.2. Основные типы взаимодействия кластеров с поверхностью и
модификация материалов осаждением из кластерных пучков. . . . 25
§1.3. Основные особенности распыления поверхности пучками
кластерных ионов. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . 33
§1.4. Применение кластерных ионов для распыления органических
материалов и получения профилей распределения по глубине. . . 45
§1.5. Неаддитивные эффекты при распылении поверхностей
кластерными ионами. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
§1.6. Мономолекулярная фрагментация распыленных кластерных
ионов . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
§1.7. Обсуждение состояния вопроса и постановка задачи
исследований. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . .. . . . . . . 63
ГЛАВА II. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ И
МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЙ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . 66
§2.1. Экспериментальный прибор. . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
§2.2. Выбор материалов для исследований и условия проведения
экспериментов. . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
§2.3. Методика исследований мономолекулярной фрагментации и
расчѐта энергий диссоциации кластерных ионов. . . . . . . . . . . . . . . 73
§2.4. Математическая обработка результатов и оценка точности
экспериментов. . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
§2.5. Выводы по Главе II. . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
ГЛАВА ІІІ. РАЗРАБОТКА МЕТОДИК ОПРЕДЕЛЕНИЯ
ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ СВОЙСТВ КЛАСТЕРОВ,
РАСПЫЛЕННЫХ С ПОВЕРХНОСТИ МАТЕРИАЛОВ ИОННОЙ
БОМБАРДИРОВКОЙ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
§3.1. Сравнительное исследование масс-распределений кластерных
ионов при распылении поверхностей Ag, Nb и Ta пучками SF5
+
,
Xe+
и Ar+
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 814
§3.2. Сравнительное исследование распадов кластерных ионов при
распылении поверхностей Ag, Nb и Ta пучками SF5
+
, Xe+
и Ar+
. . 89
§3.3. Методика оценки энергий диссоциации кластерных ионов в
рамках теории мономолекулярных реакций . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
§3.4. Эмиссия, фрагментация и энергии диссоциации распыленных
кластеров NbnCm
+
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
§3.5. Выводы по Главе ІІІ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
ГЛАВА IV. ИССЛЕДОВАНИЕ ЭМИССИИ, ФРАГМЕНТАЦИИ И
ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ СВОЙСТВ КЛАСТЕРОВ ОКСИДОВ
КРЕМНИЯ, ВАНАДИЯ И НИОБИЯ, СИНТЕЗИРОВАННЫХ
ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
§4.1. Введение. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
§4.2. Определение оптимальной методики генерации оксидных
кластеров под действием ионной бомбардировки и исследование
масс-распределений кластеров SinOm
, VnOm
и NbnOm
. . . . . . . . . 110
§4.3. Исследование каналов фрагментации и определение возможных
структур распыленных кластеров SinOm
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
§4.4. Характеристики распыленных кластеров SinOm
±
: энергии
диссоциации, константы скорости распада и энергии
возбуждения. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129
§4.5. Исследование мономолекулярной фрагментации и определение
фундаментальных свойств распыленных кластеров VnOm
и
NbnOm
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
§4.6. Выводы по главе IV . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 147
ГЛАВА V. НЕКОТОРЫЕ ВОПРОСЫ ТЕОРИИ ЭМИССИИ И
ФРАГМЕНТАЦИИ КЛАСТЕРОВ ПРИ ИОННОМ РАСПЫЛЕНИИ. 150
§5.1. Фрактальная концепция в описании процессов взаимодействия
бомбардирующих ионов с поверхностью. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
§5.2. Детерминизм и стохастизация в синергетике ионного
распыления. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 157
§5.3. Множественные процессы при распылении материалов ионной
бомбардировкой. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 164
§5.4. Релаксация неравновесных структур и фрагментация
распыленных кластеров. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 170
§5.5. Выводы по главе V . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176
ЗАКЛЮЧЕНИЕ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 177
СПИСОК ОПУБЛИКОВАННЫХ РАБОТ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 181
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 193
ПРИЛОЖЕНИЯ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 225
